VSX光源におけるコヒーレント分光ビームラインの検討; 軟X線投影型顕微鏡への応用

小池 雅人

平成9年度-平成12年度科学研究費補助金,研究成果報告書(研究課題番号09309001), p.70 - 76, 2001/03

東京大学高輝度光源(VSX)利用計画では軟X線顕微鏡ビームラインの一つとして投影型顕微鏡が検討されているが、ビームラインとしては挿入光源(アンジュレータ)の空間及び時間コヒーレンスを最大限に利用するように設計することが重要である。ビームライン構成としては時間コヒーレンスの確保のための分光器、空間コヒーレンス確保のためのピンホール,ゾーンプレート,アパーチャーなどである。軟X線顕微鏡の場合ゾーンプレートの縞数に対応した約1000以上,同分光顕微鏡の場合できる限り高い波長分光能が要求される。また波長領域としては50eV~1.5keVをカバーできることが望ましいとされている。ここではVSX光源の27m長尺アンジュレータを想定して、不等間隔溝平面回折格子を用いたMond-Gillieson型分光器を用いた軟X線分光顕微鏡用コヒーレントビームラインの光学設計について検討した内容について報告する。